微型导轨可用于IC/LSI制造装置，因为IC/LSI制造装置对工艺及精度要求极高，所以在直线传动方面，也只有微型导轨能满足设备的技术要求，因此微型导轨可用于IC/LSI制造装置。

图：微型导轨可用于IC/LSI制造装置

  IC也就是我们常说的集成电路，而LSI则是指大规模集成电路，总的来说我们可以将IC和LSI笼统的称为芯片。而要说到IC/LSI制造装置，就是我们经常说的芯片制造设备，这类设备很多，并且都比较高端，我们也可以将其称为半导体生产加工。半导体产品的加工过程主要包括晶圆制造（前道，Front-End）和封装（后道，Back-End）测试，随着先进封装技术的渗透，出现介于晶圆制造和封装之间的加工环节，称为中道（Middle-End）。而这些设备又可以细分为很多种，其技术都是非常前沿的，对精度要求较高，并且均为智能自动化生产设备。因为这些设备的要求高，并且有很多需要执行很多直线运动，因此就要用度对精度要求很高的微型导轨，如真空机器人就是用于晶圆搬运的设备。

  因为微型导轨可用于IC/LSI制造装置，可见它的精度之高，应用范围之光，俨然已经可以应用我们工作和生活中的各个领域。

本文由陕西达沃鑫智能装备有限公司原创 站点：www.weixingdaogui.com 作者：微型导轨生产厂家 发表时间：2022年12月1日13：48：28