直线导轨可用于真空机器人，主要用于晶圆搬运行业，但是在真空环境下，对各部件的要求很多，但对于直线导轨来说，则主要是润滑和材料两方面。

  直线导轨在真空环境下也是需要润滑的，而润滑画在真空环境下运行一段时间，也会蒸腾的，这些油脂会对晶圆造成污染，而且也会让直线导轨失去油消作用。所以要选用真空专用油脂润滑。另外一方面则对直线导轨的材料有要求，一般的直线导轨是用金属和塑料制作的，这些材料在真空环境下，会对晶圆的质量产生影响，因此要选用特定的材料来制作直线导轨。此外比较重要的一点就是真空环境下，对直线导轨的精密度要求较高，因此要选用精密等级较高的直线导轨，否则很难保证晶圆的质量。

  除了以上几点以外，直线导轨在真空下正常工作，还有很多标准，这就需要参考许多专业资料。